碳氢超声波清洗机也叫等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。碳氢超声波清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、涂覆、光刻胶灰化等目的。
碳氢超声波清洗机分类
碳氢超声波清洗机按照工件搬运的自动化程度可分为全自动、半自动和手动;按照清洗槽的数量可分为单槽机、双槽机、多槽机等;按照清洗工件体积可分为大型机、中型机和小型机；按照蒸馏装置与清洗装置的结合方式可分为一体式和分离式，按照清洗对象还有电镀、热处理、卷材清洗专用机。
碳氢超声波清洗机组成
根据真空清洗干燥机各部分的作用，可分为清洗系统、干燥系统、蒸馏再生系统、输送系统、控制系统、安全辅助装置几部分。近些经过国内生产厂家经过多年的研究开发，使真空清洗干燥机的技术水平逐步提高，功能不断完善，洗净力大幅度提高、成本进一步下降、可以满足更多客户的清洗要求，从而使碳氢清洗技术日臻成熟，被越来越多的客户所认同，在替代ODS和有害清洗溶剂中发挥了巨大作用。
碳氢超声波清洗机，大部分人可能会感觉很陌生。事实上，碳氢超声波清洗机通过对样品表面进行改性(亲水性)，同时除掉表面有机物，使多种材料之间能够进行贴合、涂覆、镀膜等工艺操作。从研究开发到工艺生产使用，从表面微细加工到表面处理改质效果都非常好，应用广。
碳氢超声波清洗机原理
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。
1、常压大气碳氢超声波清洗机给它接入气体与能量，气体压力达到0.2mpa左右、与足够的能量，通俗来讲就是高频高压产生等离子体。再通过等离体子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。优点是大气型快速量产。
2、真空碳氢超声波清洗机原理也是一样的，在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品面，以达到清洗目的。